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干式真空泵在半导体行业的应用要求

点击次数:   更新时间:19/07/03 11:03:07     来源:www.icgaonline.com关闭分    享:
  干式真空泵应用较为广泛,其中在半导体行业和石油化工行业使用为甚,在这些半导体生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。今天小编主要讲的是干式真空泵在半导体行业中的应用要求:
  以半导体行业为代表,要求真空泵向被抽空间内的返流为零,以保护工件免受污染。对半导体行业中应用的真空系统的要求大体分为三个等级。
  1.清洁条件下的抽气,只抽干空气或含少许水蒸汽的空气。
  2.中等条件下的抽气,干式真空泵抽除工艺过程的反应气体,但无固体颗粒物。
  3.恶劣条件下的抽气,抽除化学反应物(有毒甚至致癌)及固体颗粒物。
  以上就是干式真空泵在半导体行业不同环境条件下中应具备的要求,凭借其真空度高、稳定性好等特点有着比较理想的使用效果,得到了业内的普遍认可。
小编:Dick
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